Индекс УДК | 621.315.592 |
Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | графитоподобные пленки |
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 7. - С. 775-781 |
|
Имя макрообъекта | Виноградов_структура |