Поиск

Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок

Авторы: Виноградов, А. Я. Грудинкин, С. А. Беседина, Н. А. Коняхин, С. В. Рабчинский, М. К. Эйдельман, Е. Д. Голубев, В. Г.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок
Электронный ресурс
Ключевые слова графитоподобные пленки
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 7. - С. 775-781
Имя макрообъекта Виноградов_структура