| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687343103 |
| Дата корректировки | 8:44:14 12 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.01.45318.8610 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Протасов, Д. Ю. | |
|
Подвижность двумерного электронного газа в DA-pHEMT гетроструктурах с различной шириной профиля бета-n-слоев Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 30 назв. |
| Аннотация | Исследовано влияние профиля распределения атомов кремния в донорных бета-слоях гетероструктур AlGaAs/InGaAs/AlGaAs с донорно-акцепторным легированием на подвижность двумерного электронного газа. Параметры профилей бета-слоев определялись путем аппроксимации нормальным распределением пространственных распределений атомов кремния, измеренных методом вторичной ионной масс-спектроскопии. Измерения магнитополевых зависимостей эффекта Холла и проводимости позволили установить, что в результате такого уменьшения подвижность двумерного электронного газа в гетероструктурах возросла на 4000 см{2}/В · с при77 K и 600 см{2}/В · с при 300 K. Проведенный расчет подвижности с учетом заполнения двух первых подзон размерного квантования показал, что возрастание подвижности хорошо объясняется ослаблением кулоновского рассеяния на ионизированных донорах вследствие увеличения эффективной толщины спейсерного слоя. |
| Журавлёв, К. С. | |
| Ключевые слова | подвижность двумерного электронного газа |
|
подвижность электронов двумерный электронный газ гетроструктуры донорно-акцепторное легирование эффект Холла кулоновское рассеяние бета-слои |
|
|
Бакаров, А. К. Торопов, А. И. Бер, Б. Я. Казанцев, Д. Ю. Журавлев, К. С. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 1. - С. 48-56 |
|
| Имя макрообъекта | Протасов_подвижность |
| Тип документа | b |
