Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/687283394 |
Дата корректировки | 16:09:36 11 октября 2021 г. |
Служба первич. каталог. | Шавель |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 621.315.592 |
Мамутин, В. В. | |
Исследование модифицированной структуры квантового каскадного лазера Электронный ресурс |
|
Investigation of modified structure for quantum cascade lasers | |
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
Аннотация | Исследован процесс получения модифицированной структуры для квантовых каскадных лазеров, включающий в себя выращивание с помощью молекулярно-пучковой эпитаксии, плазменное травление, фотолитографию с применением жидкостного травления и создание специальных контактов для уменьшения потерь в волноводе. Использование специального типа структуры позволяет и без постростового заращивания высокоомным материалом достичь параметров, удовлетворяющих требованиям к гетероструктурам высококачественных квантовых каскадных лазеров при максимальном упрощении всего процесса изготовления. |
Ключевые слова | квантовые каскадные лазеры |
молекулярно-пучковая эпитаксия плазменное травление фотолитография гетероструктуры модифицированная структура |
|
Малеев, Н. А. Васильев, А. П. Ильинская, Н. Д. Задиранов, Ю. М. Усикова, А. А. Яговкина, М. А. Шерняков, Ю. М. Устинов, В. М. |
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 1. - С. 133-137 |
|
Имя макрообъекта | Мамутин_исследование |
Тип документа | b |