Поиск

Исследование модифицированной структуры квантового каскадного лазера

Авторы: Мамутин, В. В. Малеев, Н. А. Васильев, А. П. Ильинская, Н. Д. Задиранов, Ю. М. Усикова, А. А. Яговкина, М. А. Шерняков, Ю. М. Устинов, В. М.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/687283394
Дата корректировки 16:09:36 11 октября 2021 г.
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Мамутин, В. В.
Исследование модифицированной структуры квантового каскадного лазера
Электронный ресурс
Investigation of modified structure for quantum cascade lasers
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 9 назв.
Аннотация Исследован процесс получения модифицированной структуры для квантовых каскадных лазеров, включающий в себя выращивание с помощью молекулярно-пучковой эпитаксии, плазменное травление, фотолитографию с применением жидкостного травления и создание специальных контактов для уменьшения потерь в волноводе. Использование специального типа структуры позволяет и без постростового заращивания высокоомным материалом достичь параметров, удовлетворяющих требованиям к гетероструктурам высококачественных квантовых каскадных лазеров при максимальном упрощении всего процесса изготовления.
Ключевые слова квантовые каскадные лазеры
молекулярно-пучковая эпитаксия
плазменное травление
фотолитография
гетероструктуры
модифицированная структура
Малеев, Н. А.
Васильев, А. П.
Ильинская, Н. Д.
Задиранов, Ю. М.
Усикова, А. А.
Яговкина, М. А.
Шерняков, Ю. М.
Устинов, В. М.
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 1. - С. 133-137
Имя макрообъекта Мамутин_исследование
Тип документа b