| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/682166522 |
| Дата корректировки | 11:06:45 13 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2018.01.45283.123 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Оджаев, В. Б. | |
|
Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 13 назв. |
| Аннотация | Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя в кремнии. Геттерный слой создавался путем имплантации в кремний ионов Sb{+} и последующих термообработок. Обнаружено, что атомы сурьмы, расположенные в окрестности микропор, захватываются на микропоры в процессе геттерирующего отжига и теряют электрическую активность. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии. Это объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот. |
| Ключевые слова | кремний |
|
пористый кремний монокристаллические пластины кремния сурьма ионы сурьмы имплантация ионов примесь сурьмы ионно-легированные слои микропоры геттерного слоя термообработка |
|
| Другие авторы | Петлицкий, А. Н. |
|
Плебанович, В. И. Садовский, П. К. Тарасик, М. И. Челядинский, А. Р. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 1. - С. 22-24 |
| Имя макрообъекта | Оджаев_взаимодействие |
| Тип документа | b |
