| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/681818096 |
| Дата корректировки | 10:08:16 9 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.12.48590.33ks | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Гращенко, А. С. | |
|
Исследование упругих свойств пленок SiC, синтезированных на подложках Si методом замещения атомов Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 13 назв. |
| Аннотация | Исследованы упругие свойства наномасштабной пленки карбида кремния, выращенной на кремниевой подложке методом замещения атомов. Впервые методом наноиндентирования измерен модуль Юнга наномасштабного карбида кремния. Методами оптической профилометрии и спектральной эллипсометрии исследованы структурные характеристики пленки карбида кремния на кремнии, а именно, рассчитана шероховатость пленки и ее толщина. |
| Ключевые слова | пленки |
|
наномасштабные пленки карбид кремния подложки кремния структурные характеристики упругие свойства метод замещения атомов |
|
| Другие авторы | Кукушкин, С. А. |
| Осипов, А. В. | |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2313-2315 |
| Имя макрообъекта | Гращенко_исследование |
| Тип документа | b |
