| Индекс УДК | 539.21 |
|
Исследование упругих свойств пленок SiC, синтезированных на подложках Si методом замещения атомов Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Исследованы упругие свойства наномасштабной пленки карбида кремния, выращенной на кремниевой подложке методом замещения атомов. Впервые методом наноиндентирования измерен модуль Юнга наномасштабного карбида кремния. Методами оптической профилометрии и спектральной эллипсометрии исследованы структурные характеристики пленки карбида кремния на кремнии, а именно, рассчитана шероховатость пленки и ее толщина. |
| Ключевые слова | пленки |
| Другие авторы | Кукушкин, С. А. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 12. - С. 2313-2315 |
| Имя макрообъекта | Гращенко_исследование |
