| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/681574626 |
| Дата корректировки | 14:35:19 6 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2019.11.48436.435 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Завидовский, И. А. | |
|
Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 34 назв. |
| Аннотация | Исследованы тонкие углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота. Результаты спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и электронной дифракции свидетельствуют о росте графитовой составляющей при увеличении энергии ионной стимуляции. Применение ионной стимуляции в процессе напыления пленок позволяет управлять их удельным сопротивлением, изменяя его от 10{5} до 10{2} омега · cm. |
| Ключевые слова | пленки |
|
тонкие пленки углеродные пленки удельное сопротивление ионная стимуляция ионно-плазменное осаждение |
|
| Другие авторы | Стрелецкий, О. А. |
|
Нищак, О. Ю. Хайдаров, А. А. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 11. - С. 2244-2248 |
| Имя макрообъекта | Завидовский_влияние |
| Тип документа | b |
