Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота
Завидовский, И. А., Стрелецкий, О. А., Нищак, О. Ю., Хайдаров, А. А.
Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота, [Электронный ресурс]
ил.
// Физика твердого тела .-
2019 .-
Т. 61, вып. 11. - С. 2244-2248 .-
Завидовский_влияние