| Индекс УДК | 539.21 |
|
Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | пленки |
| Другие авторы | Стрелецкий, О. А. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 61, вып. 11. - С. 2244-2248 |
| Имя макрообъекта | Завидовский_влияние |
