Поиск

Экспериментальные исследования влияния эффектов атомного упорядочения в эпитаксиальных твердых растворах Ga[x]In[1-x]P на их структурные и морфологические свойства

Авторы: Середин, П. В. Леньшин, А. С. Худяков, Ю. Ю. Арсентьев, И. Н. Калюжный, Н. А. Минтаиров, С. А. Николаев, Д. Н. Prutskij, Тatiana
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/681565316
Дата корректировки 11:46:19 6 августа 2021 г.
10.21883/FTP.2017.08.44802.8480
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Середин, П. В.
Экспериментальные исследования влияния эффектов атомного упорядочения в эпитаксиальных твердых растворах Ga[x]In[1-x]P на их структурные и морфологические свойства
Электронный ресурс
Experimental studies of the impact of the effects of atomic ordering in epitaxial solid solutions Ga[x] In[1-x]P on their structural and morphological properties
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 23 назв.
Аннотация Комплексом структурных и микроскопических методов изучены свойства эпитаксиальных твердых растворов Ga[x]In[1-x]P с упорядоченным расположением атомов в кристаллической решетке, выращенных методом MOCVD на монокристаллических подложках GaAs(100). Показано, что в условиях когерентного роста упорядоченного твердого раствора Ga[x]In[1-x]P на GaAs(100) появление атомного упорядочения приводит к кардинальному изменению структурных свойств полупроводника по сравнению со свойствами неупорядоченных твердых растворов, среди которых изменение параметра кристаллической решетки и, как следствие, понижение симметрии кристалла, а также образование двух различных типов нанорельефа поверхности. Впервые с учетом упругих напряжений рассчитаны параметры твердых растворов Ga[x]In[1-x]P с упорядочением в зависимости от параметра порядка. Показано, что все экспериментальные результаты находятся в хорошем согласии с развитыми теоретическими представлениями.
Ключевые слова эпитаксиальные твердые растворы
монокристаллические подложки
полупроводники
твердые растворы
полупроводниковая оптоэлектроника
эпитаксиальные пленки
атомно-силовая микроскопия
Леньшин, А. С.
Худяков, Ю. Ю.
Арсентьев, И. Н.
Калюжный, Н. А.
Минтаиров, С. А.
Николаев, Д. Н.
Prutskij, Тatiana
Физика и техника полупроводников
2017
Т. 51, вып. 8. - С. 1131-1137
Имя макрообъекта Середин_экспериментальные
Тип документа b