Поиск

Обратимая электрохимическая модификация поверхности полупроводников зондом атомно-силового микроскопа

Авторы: Кожухов, А. С. Щеглов, Д. В. Латышев, А. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/679491382
Дата корректировки 11:46:06 13 июля 2021 г.
10.21883/FTP.2017.04.44333.8089
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Кожухов, А. С.
Обратимая электрохимическая модификация поверхности полупроводников зондом атомно-силового микроскопа
Электронный ресурс
Reversible electrochemical modification of semicondector surface by atomic force microscopy probe
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 23 назв.
Аннотация Предложена и обоснована методика обратимого изменения свойств поверхности зондом атомно-силового микроскопа, когда при локальном изменении поверхностного потенциала образца под зондом атомно-силового микроскопа не происходит заметных механических или топографических изменений. На основе предложенной методики установлена возможность контролируемого относительного изменения омического сопротивления канала в мосте Холла в пределах 20-25%.
Ключевые слова атомно-силовые микроскопы
электрохимическая модификация
полупроводники
модификация поверхности
мост Холла
Щеглов, Д. В.
Латышев, А. В.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2017
Прочая информация Т. 51, вып. 4. - С. 443-445
Имя макрообъекта Кожухов_обратимая
Тип документа b