Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/679491382 |
Дата корректировки | 11:46:06 13 июля 2021 г. |
10.21883/FTP.2017.04.44333.8089 | |
Служба первич. каталог. | Шавель |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 621.315.592 |
Кожухов, А. С. | |
Обратимая электрохимическая модификация поверхности полупроводников зондом атомно-силового микроскопа Электронный ресурс |
|
Reversible electrochemical modification of semicondector surface by atomic force microscopy probe | |
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 23 назв. |
Аннотация | Предложена и обоснована методика обратимого изменения свойств поверхности зондом атомно-силового микроскопа, когда при локальном изменении поверхностного потенциала образца под зондом атомно-силового микроскопа не происходит заметных механических или топографических изменений. На основе предложенной методики установлена возможность контролируемого относительного изменения омического сопротивления канала в мосте Холла в пределах 20-25%. |
Ключевые слова | атомно-силовые микроскопы |
электрохимическая модификация полупроводники модификация поверхности мост Холла |
|
Щеглов, Д. В. Латышев, А. В. |
|
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2017 |
Прочая информация | Т. 51, вып. 4. - С. 443-445 |
Имя макрообъекта | Кожухов_обратимая |
Тип документа | b |