| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/679154671 |
| Дата корректировки | 14:13:37 9 июля 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.03.44220.8387 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Паршина, Л. С. | |
|
Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO[2] : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц Электронный ресурс |
|
| Influence of energy density on target on the SnO[2] : Sb films properties at using particles speed separator | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 21 назв. |
| Аннотация | Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO[2] : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см{2}. Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO[2] : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2 · 10{-3} Ом · см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см{2}, температуре подложки 300°C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр. |
| Служебное примечание | Щербачёв, К. Д. |
| Ключевые слова | скоростная сепарация частиц |
|
тонкие пленки пленки оксида олова оксид олова полупроводники легирование пленок |
|
|
Храмова, О. Д. Новодворский, О. А. Лотин, А. А. Петухов, И. А. Путилин, Ф. Н. Щербачев, К. Д. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 3. - С. 426-430 |
|
| Имя макрообъекта | Паршина_влияние |
| Тип документа | b |
