Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO[2] : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц
Паршина, Л. С., Щербачёв, К. Д., Храмова, О. Д., Новодворский, О. А., Лотин, А. А., Петухов, И. А., Путилин, Ф. Н., Щербачев, К. Д.
Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO[2] : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2017, Т. 51, вып. 3. - С. 426-430
Паршина_влияние
