| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO[2] : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO[2] : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см{2}. Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO[2] : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2 · 10{-3} Ом · см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см{2}, температуре подложки 300°C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр. |
| Ключевые слова | скоростная сепарация частиц |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 3. - С. 426-430 |
|
| Имя макрообъекта | Паршина_влияние |
