| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/678461350 |
| Дата корректировки | 13:45:30 1 июля 2021 г. |
| DOI | 10.21883/FTP.2017.01.44004.8292 |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Автор | Никитин, С. Е. |
| Заглавие | Текстура поверхности монокристаллического кремния, окисленного под тонким слоем V[2]O[5] |
| Физич. носитель | Электронный ресурс |
| Texture of monocrystalline silicon surface oxidized under thin V[2]O[5] layer | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
| Аннотация | Исследован процесс текстурирования поверхности монокристаллического кремния, окисленного под слоем V[2]O[5]. Интенсивное окисление кремния на границе Si-V[2]O[5] начинается при температуре 903K, что на 200K ниже, чем при термическом окислении кремния в атмосфере кислорода. На границе V[2]O[5]-Si образуется слой диоксида кремния толщиной от 30-50 нм с включениями SiO[2] в кремний глубиной до 400 нм. Найдено значение коэффициента диффузии атомарного кислорода при 903K через слой диоксида кремния (D >= 2 · 10{-15} см{2} · с{-1}). Предложена модель низкотемпературного окисления кремния, основанная на диффузии атомарного кислорода из V[2]O[5] через слой SiO[2] к кремнию и возникновении преципитатов SiO[x] в кремнии. После удаления слоев V[2]O[5] и диоксида кремния на поверхности кремния образуется текстура, интенсивно рассеивающая свет в области длин волн 300-550 нм, что важно для текстурирования фронтальной и тыльной поверхностей солнечных фотопреобразователей. |
| Служебное примечание | Нащёкин, А. В |
| Ключевые слова | монокристаллический кремний |
|
диоксид кремния диффузное отражение света анизотропное жидкостное травление плазменное травление фотолитография |
|
| Другие авторы | Нащекин, А. В. |
|
Терукова, Е. Е. Трапезникова, И. Н. Бобыль, А. В. Вербицкий, В. Н. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 51, вып. 1. - С. 105-110 |
| Имя макрообъекта | Никитин_текстура |
| Тип документа | b |
