| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/677608514 |
| Дата корректировки | 16:41:44 21 июня 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2020.11.50091.9461 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Афанасьев, М. С. | |
|
Зависимость электрофизических характеристик структур металл-сегнетоэлектрик-полупроводник от материала верхнего электрода Электронный ресурс |
|
| The dependence of electrophysical characteristics of metal–ferroelectric–semiconductor structures on a field electrode material | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | цв. ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
| Аннотация | Пленки состава Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] (BST 80/20) синтезированы на кремниевой подложке методом высокочастотного распыления поликристаллической мишени. Представлены результаты исследований состава пленок, электрофизических свойств конденсаторных структур на их основе и зависимости этих свойств от материала верхнего электрода (Al, Cu, Ni, Cr). |
| Киселёв, Д. А. | |
| Ключевые слова | структуры металл-диэлектрик-полупроводник |
|
сегнетоэлектрические пленки микроструктуры электрофизические свойства полупроводники |
|
|
Белорусов, Д. А. Киселев, Д. А. Сивов, А. А. Чучева, Г. В. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 54, вып. 11. - С. 1219-1223 |
| Имя макрообъекта | Афанасьев_зависимость |
| Тип документа | b |
