| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Зависимость электрофизических характеристик структур металл-сегнетоэлектрик-полупроводник от материала верхнего электрода Электронный ресурс |
|
| Аннотация | Пленки состава Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] (BST 80/20) синтезированы на кремниевой подложке методом высокочастотного распыления поликристаллической мишени. Представлены результаты исследований состава пленок, электрофизических свойств конденсаторных структур на их основе и зависимости этих свойств от материала верхнего электрода (Al, Cu, Ni, Cr). |
| Ключевые слова | структуры металл-диэлектрик-полупроводник |
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 54, вып. 11. - С. 1219-1223 |
| Имя макрообъекта | Афанасьев_зависимость |
