| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/675791287 |
| Дата корректировки | 15:50:48 31 мая 2021 г. |
| DOI | 10.21883/FTP.2020.04.49153.9312 |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Барабан, А. П. | |
|
Особенности слоев SiO[2], синтезированных на кремнии методом молекулярного наслаивания Электронный ресурс |
|
| Features of SiO[2] layers synthesized on silicon by molecular layer deposition | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
| Аннотация | Проведено сравнение характеристик слоев оксида кремния, полученных различными технологическими способами. Показано, что каталитический способ получения слоев окиси кремния методом молекулярного наслаивания имеет ряд преимуществ. Главными из них являются низкая температура роста, качественная граница раздела с кремниевой подложкой и высокая скорость роста пленок. Исследования методом катодолюминесценции позволили оценить структурное качество слоев оксида кремния, полученных методом молекулярного наслаивания, и подтвердили представления о его возможностях для получения качественных пленок окиси кремния для широкого практического применения. |
| Ключевые слова | молекулярное наслаивание |
|
низкотемпературный синтез оксид кремния каталитический синтез катодолюминесценция спектральное распределение |
|
|
Денисов, Е. А. Дмитриев, В. А. Дрозд, А. В. Дрозд, В. Е. Селиванов, А. А. Сейсян, Р. П. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2020 Т. 54, вып. 4. - С. 427-431 |
|
| Имя макрообъекта | Барабан_особенности |
| Тип документа | b |
