Особенности слоев SiO[2], синтезированных на кремнии методом молекулярного наслаивания
Барабан, А. П., Денисов, Е. А., Дмитриев, В. А., Дрозд, А. В., Дрозд, В. Е., Селиванов, А. А., Сейсян, Р. П.
Особенности слоев SiO[2], синтезированных на кремнии методом молекулярного наслаивания, [Электронный ресурс]
ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 4. - С. 427-431
Барабан_особенности
