| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/674925422 |
| Дата корректировки | 15:41:10 21 мая 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2020.10.49905.116 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Попов, А. И. | |
|
Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 19 назв. |
| Аннотация | Рассмотрены возможности управления электрофизическими и механическими свойствами аморфных алмазоподобных кремнийуглеродных пленок методами структурной, химической и структурно-химической модификации. В качестве факторов структурной модификации использовались величина напряжения смещения и его частота в процессе синтеза пленок, давление аргона в рабочей камере, а также прекурсоры с различной молекулярной структурой. Для химической и структурно-химической модификации осуществлялось введение в пленку переходных металлов с концентрацией до 30-35 аt.%. Показана высокая эффективность управления физическими свойствами пленок рассматриваемыми методами. |
| Ключевые слова | пленки |
|
кремнийуглеродные пленки полифенилметилсилоксан полиметилсилоксан нанокомпозиты структурная модификация химическая модификация структурно-химическая модификация нанотвердость электропроводность |
|
| Другие авторы | Баринов, А. Д. |
|
Емец, В. М. Чуканова, Т. С. Шупегин, М. Л. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 10. - С. 1612-1617 |
| Имя макрообъекта | Попов_управление |
| Тип документа | b |
