| Индекс УДК | 539.21 |
|
Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | пленки |
| Другие авторы | Баринов, А. Д. |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 62, вып. 10. - С. 1612-1617 |
| Имя макрообъекта | Попов_управление |
