Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок
Попов, А. И., Баринов, А. Д., Емец, В. М., Чуканова, Т. С., Шупегин, М. Л.
Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика твердого тела .-
2020 .-
Т. 62, вып. 10. - С. 1612-1617 .-
Попов_управление
