| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/671879780 |
| Дата корректировки | 9:22:59 16 апреля 2021 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Калыгина, В. М. | |
| Механизм проводимости пленок оксида титана и структур металл-TiO[2]-Si | |
| Conduction mechanism in titanium dioxide films and metal-TiO[2]-Si structures | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 9 назв. |
| Аннотация | Исследовано влияние отжига пленок оксида титана на электрические характеристики структур металл. TiO[2-n]-Si. Показано, что независимо от температуры отжига проводимость структур при положительных потенциалах на затворе определяется током, ограниченным пространственным зарядом в диэлектрике с ловушками, экспоненциально распределенными по энергии. При отрицательных потенциалах на затворе основной вклад в ток дает генерация электронно-дырочных пар в области пространственного заряда в кремнии. Свойства границы раздела TiO[2-n]-Si зависят от структуры и фазового состояния оксидной пленки, которые определяются температурой отжига. |
| Ключевые слова | оксид титана |
|
проводимость пленок пленки оксида титана диоксид кремния оксидные пленки полупроводники |
|
|
Егорова, И. М. Прудаев, И. А. Толбанов, О. П. |
|
| Название источника | Физика и техника полупроводников |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Т. 50, вып. 8. - С. 1036-1040 |
| Имя макрообъекта | Калыгина_механизм |
| Тип документа | b |
