Индекс УДК | 621.315.592 |
Механизм проводимости пленок оксида титана и структур металл-TiO[2]-Si | |
Ключевые слова | оксид титана |
Название источника | Физика и техника полупроводников |
Место и дата издания | 2016 |
Прочая информация | Т. 50, вып. 8. - С. 1036-1040 |
Имя макрообъекта | Калыгина_механизм |