| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps20_to87_no4_ss589_ad1 |
| Дата корректировки | 13:04:53 30 марта 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210309s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps20_to87_no4_ss589_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
535.33 539.2 |
| Индекс ББК |
22.344 22.37 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Бринкевич, С. Д. 070 |
|
|
Механизм адгезионного взаимодействия пленок диазохинонноволачного фоторезиста с монокристаллическим кремнием С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич [и др.] |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 594 (18 назв. ) |
| Аннотация | Методом ИК-Фурье-спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения исследованы радиационно-индуцированные процессы, протекающие при имплантации ионов бора и фосфора в пленки позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120 на кремнии. Установлено, что усиление адгезии резиста к монокристаллическому кремнию обусловлено образованием сложноэфирных сшивок между гидроксильными группами на поверхности оксидного слоя кремниевой пластины и карбоксильной группой 1-Н-инден-3-карбоновой кислоты. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
адгезионное взаимодействие пленок диазохинонноволачный фоторезист имплантация кремний монокристаллический кремний радиационно-индуцированные процессы спектр нарушенного полного внутреннего отражения |
|
Гринюк, Е. В. 070 Бринкевич, Д. И. 070 Свердлов, Р. Л. 070 Просолович, В. С. 070 Петлицкий, А. Н. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 87, № 4. - С. 589-594 |
|
RU 43013090 20210309 RCR |
|
|
RU 43013090 20210309 |
|
|
RU AR-MARS 20210309 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20210309 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2020 87 4 589 1 |
|
| 718 |
