Механизм адгезионного взаимодействия пленок диазохинонноволачного фоторезиста с монокристаллическим кремнием
Бринкевич, С. Д., Гринюк, Е. В., Бринкевич, Д. И., Свердлов, Р. Л., Просолович, В. С., Петлицкий, А. Н.
Механизм адгезионного взаимодействия пленок диазохинонноволачного фоторезиста с монокристаллическим кремнием, С. Д. Бринкевич, Е. В. Гринюк, Д. И. Бринкевич [и др.]
// Журнал прикладной спектроскопии .-
2020 .-
Т. 87, № 4. - С. 589-594 .-
