| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma20_to56_no8_ss844_ad1 |
| Дата корректировки | 13:04:12 30 марта 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210313s2020||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma20_to56_no8_ss844_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.315.6 |
| Индекс ББК | 31.234 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Баринов, А. Д. 070 |
|
|
Влияние прекурсора на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок А. Д. Баринов, Т. Д. Гуринович, А. И. Попов [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 7 рис., 1 табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 853 (21 назв. ) |
| Аннотация | Приведены результаты исследования частотных и температурных зависимостей диэлектрических свойств (диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь) аморфных кремний-углеродных пленок, полученных из различных прекурсоров: полифенилметилсилоксана (ПФМС) и полиметилсилоксана (ПМС). Показано, что пленки на основе ПФМС являются ярко выраженным полярным диэлектриком, а пленки на основе ПМС представляют собой слабополярный диэлектрик. При этом на высоких частотах значения их диэлектрических проницаемостей достаточно близки (при 300 К на частоте 1 МГц они составляют 4. 9 и 4. 4 соответственно). Проанализированы зависимости диэлектрических свойств от частоты и температуры, а также от типа прекурсора. |
|
Энергетика AR-MARS Электроизолирующие материалы и изделия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
кремний-углеродные пленки диэлектрическая проницаемость тангенс угла диэлектрические потери полярные диэлектрики абсорбционный ток диэлектрические свойства прекурсор полифенилметилсилоксан полиметилсилоксан |
|
Гуринович, Т. Д. 070 Попов, А. И. 070 Чуканова, Т. С. 070 Шапетина, М. А. 070 Шупегин, М. Л. 070 |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 56, № 8. - С. 844-853 |
|
RU 36713090 20210313 RCR |
|
|
RU 36713090 20210313 |
|
|
RU AR-MARS 20210313 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20210313 |
|
|
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/ https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43793551 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2020 56 8 844 1 |
|
| 13607 |
