Влияние прекурсора на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок
Баринов, А. Д., Гуринович, Т. Д., Попов, А. И., Чуканова, Т. С., Шапетина, М. А., Шупегин, М. Л.
Влияние прекурсора на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок, А. Д. Баринов, Т. Д. Гуринович, А. И. Попов [и др.]
7 рис., 1 табл.
// Неорганические материалы .-
2020 .-
Т. 56, № 8. - С. 844-853 .-
