| Индекс УДК | 621.315.6 |
|
Влияние прекурсора на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок А. Д. Баринов, Т. Д. Гуринович, А. И. Попов [и др.] |
|
| Аннотация | Приведены результаты исследования частотных и температурных зависимостей диэлектрических свойств (диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь) аморфных кремний-углеродных пленок, полученных из различных прекурсоров: полифенилметилсилоксана (ПФМС) и полиметилсилоксана (ПМС). Показано, что пленки на основе ПФМС являются ярко выраженным полярным диэлектриком, а пленки на основе ПМС представляют собой слабополярный диэлектрик. При этом на высоких частотах значения их диэлектрических проницаемостей достаточно близки (при 300 К на частоте 1 МГц они составляют 4. 9 и 4. 4 соответственно). Проанализированы зависимости диэлектрических свойств от частоты и температуры, а также от типа прекурсора. |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 56, № 8. - С. 844-853 |
|
https://sciencejournals.ru/journal/neorgmat/ https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43793551 |
