| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/Lesovaya/7cb1d0eff7c1472da17cc155e7f3e13a |
| Дата корректировки | 11:18:12 29 марта 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210315s2021||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.382 |
| Индекс ББК | 32.852 |
|
070 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович Государственный центр "Белмикроанализ" |
|
|
Формирование силицида никеля быстрой термообработкой в режиме теплового баланса В. А. Пилипенко, Я. А. Соловьев , П. И. Гайдук |
|
| Дата издания оригинала | 2021 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | табл., рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 117 (14 назв.) |
| Аннотация | Методами резерфордовского обратного рассеяния, рентгеновского фазового анализа, просвечивающей электронной микроскопии и электрофизическими измерениями исследовано формирование слоев силицида никеля на пластинах (111)-Si при быстрой термической обработке в режиме теплового баланса. |
|
Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы |
|
| Ключевые слова |
силицид никеля термическая обработка структурно-фазовые превращения электрофизические измерения рентгеновский анализ электронная микроскопия пластины |
|
070 Соловьев, Я. А. кандидат технических наук Ярослав Александрович Управляющая компания холдинга "ИНТЕГРАЛ" 070 Гайдук, П. И. доктор физико-математических наук Петр Иванович Белорусский государственный университет |
|
|
BY/FL BSU/Stat/Lesovaya/0ddb87d5e67a47e09971634400bce9e1 Доклады Национальной академии наук Беларуси 2021 Т. 65, № 1. - С. 111-118 1561-8323 |
|
| RU | |
| 863 | |
| Тип документа | b |
| Технические науки |
