Поиск

Неразрушающая эллипсометрическая методика контроля структуры углеродных плёнок

Авторы: Толстых, П. В. Пузырёв, М. В. Азарко, И. И. Оджаев, В. Б. Жоховец, С. И. Гобш, Г.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/250610362
Дата корректировки 19:05:13 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 533.9:621.373.826
Толстых, П. В.
Неразрушающая эллипсометрическая методика контроля структуры углеродных плёнок
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства Рис.3
Библиография Библиогр.: 16 назв.
углеродные плёнки
импульсное лазерное осаждение
углеродные покрытия
химическое газофазное осаждение
эллипсометрические эксперименты
Пузырёв, М. В.
Азарко, И. И.
Оджаев, В. Б.
Жоховец, С. И.
Гобш, Г.
Источник информации Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2007
№ 3 .- С. 22-25
Тип документа b