Поиск

Неразрушающая эллипсометрическая методика контроля структуры углеродных плёнок

Авторы: Толстых, П. В. Пузырёв, М. В. Азарко, И. И. Оджаев, В. Б. Жоховец, С. И. Гобш, Г.
Подробная информация
Индекс УДК 533.9:621.373.826
Неразрушающая эллипсометрическая методика контроля структуры углеродных плёнок
Текст