Неразрушающая эллипсометрическая методика контроля структуры углеродных плёнок
Толстых, П. В., Пузырёв, М. В., Азарко, И. И., Оджаев, В. Б., Жоховец, С. И., Гобш, Г.
Неразрушающая эллипсометрическая методика контроля структуры углеродных плёнок, [Текст]
Рис.3
