| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | zhps19_to86_no5_ss735_ad1 |
| Дата корректировки | 13:33:21 30 марта 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200312s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-zhps19_to86_no5_ss735_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека им. М. М. Бахтина Мордовского госуниверситета им. Н. П. Огарева МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Индекс ББК | 22.344 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Покотило, Ю. М. 070 |
|
|
Трансформация структурных дефектов и состояния водорода при термообработке гидрогенизированного кремния Покотило Ю. М., Петух А. Н., Смирнова О. Ю. [и др.] |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 738 (12 назв. ) |
| Аннотация | Исследованы трансформации структурных дефектов, состояния водорода и электрофизических свойств кремния, обработанного в водородной плазме. Установлено, что после обработки в плазме (150° С) в спектре комбинационного рассеяния наблюдаются полосы при 2095 и 2129 см{-1}, связанные с рассеянием на колебаниях связей Si-H. Последующая термообработка (275 оС) приводит к появлению полосы колебаний молекулярного водорода в газообразном состоянии с частотой 4153 см{-1}. Из сопоставления данных комбинационного рассеяния света и сканирующей зондовой микроскопии следует, что в результате гидрогенизации формируются структурные дефекты (плателеты) со средним размером 43 нм и поверхностной плотностью 6. 5 х 10{9} см{-2}, обусловленные преципитацией водорода с образованием связей Si-H. После термообработки образуются включения со средним размером 115 нм и поверхностной плотностью 1. 7 х 10{9} см{-2}, заполненные молекулярным водородом. Показано, что концентрация свободных носителей заряда остается неизменной после обработки в плазме и последующей термообработки. |
|
Физика AR-MARS Спектроскопия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
водород водородная плазма комбинационное рассеяние света кремний молекулярный водород связь Si-H сканирующая зондовая микроскопия термообработка трансформация состояния водорода трансформация структурных дефектов водорода Холла эффект электрофизические свойства кремния эпитаксиальный кремний эффект Холла |
|
Петух, А. Н. 070 Смирнова, О. Ю. 070 Стельмах, Г. Ф. 070 Маркевич, В. П. 070 Королик, О. В. 070 Свито, И. А. 070 Saad, A. 070 |
|
| ISSN | 0514-7506 |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 86, № 5. - С. 735-738 |
|
RU 43013090 20200312 RCR |
|
|
RU 43013090 20200312 |
|
|
RU AR-MARS 20200312 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20200312 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
zhps 2019 86 5 735 1 |
|
| 718 |
