| Индекс УДК | 535.33 |
|
Трансформация структурных дефектов и состояния водорода при термообработке гидрогенизированного кремния Покотило Ю. М., Петух А. Н., Смирнова О. Ю. [и др.] |
|
| Аннотация | Исследованы трансформации структурных дефектов, состояния водорода и электрофизических свойств кремния, обработанного в водородной плазме. Установлено, что после обработки в плазме (150° С) в спектре комбинационного рассеяния наблюдаются полосы при 2095 и 2129 см{-1}, связанные с рассеянием на колебаниях связей Si-H. Последующая термообработка (275 оС) приводит к появлению полосы колебаний молекулярного водорода в газообразном состоянии с частотой 4153 см{-1}. Из сопоставления данных комбинационного рассеяния света и сканирующей зондовой микроскопии следует, что в результате гидрогенизации формируются структурные дефекты (плателеты) со средним размером 43 нм и поверхностной плотностью 6. 5 х 10{9} см{-2}, обусловленные преципитацией водорода с образованием связей Si-H. После термообработки образуются включения со средним размером 115 нм и поверхностной плотностью 1. 7 х 10{9} см{-2}, заполненные молекулярным водородом. Показано, что концентрация свободных носителей заряда остается неизменной после обработки в плазме и последующей термообработки. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 86, № 5. - С. 735-738 |
