| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | elch19_to55_no12_ss1452_ad1 |
| Дата корректировки | 13:31:38 30 марта 2020 г. |
| Кодируемые данные | 200227s2019||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-elch19_to55_no12_ss1452_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научно-техническая библиотека Национального технического университета «Харьковский политехнический институт» МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 544.6 |
| Индекс ББК | 24.57 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Воловликова, О. В. 070 |
|
|
Получение гидрофобного пористого кремния с помощью металл-стимулированного травления в присутствии Pd-катализатора О. В. Воловликова, С. А. Гаврилов, Г. О. Силаков [и др.] |
|
| Текст | |
| непосредственный | |
| Аннотация | Изучен процесс формирования слоев пористого кремния металл-стимулированным травлением монокристаллического Si с удельным сопротивлением ро = 0. 01 Ом см, покрытого тонкой пленкой Pd толщиной до 100 нм, в растворе HF/H[2]O[2]/Н[2]О. Проведено исследование por-Si методом растровой электронной микроскопии, гравиметрического анализа. Установлены зависимости скорости растворения кремния от концентрации HF в растворе при наличии и отсутствии пленки Pd. Проведено исследование анодного тока, способствующего растворению Si, помещенного в растворы с разной концентрацией HF. Методом лежачей капли было показано, что por-Si, сформированный Pd-стимулированным травлением, обладает супер-гидрофобными свойствами. Краевой угол смачивания por-Si достигает 172°. Рассчитаны значения свободной поверхностной энергии пористых слоев, а также величины поверхностного натяжения воды на por-Si для возможного применения модифицированной поверхности в робототехнике. |
|
Химия AR-MARS Электрохимия AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
поверхностная энергия супергидрофобность краевой угол смачивания анодный ток пористый кремний |
|
Гаврилов, С. А. 070 Силаков, Г. О. 070 Железнякова, А. В. 070 Дудин, А. А. 070 |
|
| ISSN | 0424-8570 |
| Название источника | Электрохимия |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 55, № 12. - С. 1452-1462 |
|
RU 31013554 20200227 RCR |
|
|
RU 31013554 20200227 |
|
|
RU AR-MARS 20200302 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20200302 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
elch 2019 55 12 1452 1 |
|
| 15191 |
