| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma17_to53_no10_ss1087_ad1 |
| Дата корректировки | 10:39:54 29 декабря 2017 г. |
| Кодируемые данные | 171209s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma17_to53_no10_ss1087_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 621.79 |
| Индекс ББК | 34.64 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Гончаров, О. Ю. 070 z01710 |
|
|
Химическое газофазное осаждение тантала на подложки из различных материалов [Текст] О. Ю. Гончаров [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 1091-1092 (17 назв. ) |
| Аннотация | Впервые для получения покрытий из тантала использовано безводородное химическое газофазное осаждение (CVD) восстановлением пентабромида тантала парами кадмия, позволяющее существенно (более чем на 200 К) снизить температуру процесса осаждения. Показано, что в зависимости от материала подложки происходит осаждение разных модификаций (альфа, бета) тантала или их смеси. |
|
Машиностроение AR-MARS Соединения деталей машин AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
тантал пленки химическое газофазное осаждение пентабромид тантала пары кадмия танталовые покрытия |
|
Трещев, C. Ю. 070 z02710 Ладьянов, В. И. 070 z03710 Файзуллин, Р. Р. 070 z04710 Гуськов, В. Н. 070 z05710 Балдаев, Л. Х. 070 z06710 |
|
|
УрО Российской академии наук Физико-технический институт z01700 Вторичная ответственность УрО Российской академии наук Физико-технический институт z02700 Вторичная ответственность УрО Российской академии наук Физико-технический институт z03700 Вторичная ответственность ООО "НПО "Защитные покрытия" z04700 Вторичная ответственность Российская академия наук Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова z05700 Вторичная ответственность ООО "Технологические системы защитных покрытий" z06700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 10. - С. 1087-1092 |
|
RU 36713090 20171209 RCR |
|
|
RU 36713090 20171209 |
|
|
RU AR-MARS 20171209 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20171209 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2017 53 10 1087 1 |
|
| 13607 |
