Химическое газофазное осаждение тантала на подложки из различных материалов
Гончаров, О. Ю., Трещев, C. Ю., Ладьянов, В. И., Файзуллин, Р. Р., Гуськов, В. Н., Балдаев, Л. Х.
Химическое газофазное осаждение тантала на подложки из различных материалов, [[Текст]], О. Ю. Гончаров [и др.]
5 рис.
// Неорганические материалы .-
2017 .-
Т. 53, № 10. - С. 1087-1092 .-
