| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | vbu117_no2_ss63_ad1 |
| Дата корректировки | 10:38:57 27 сентября 2017 г. |
| Кодируемые данные | 170915s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-vbu117_no2_ss63_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
621.382 621.373/.374 |
| Индекс ББК |
32.852 32.847 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Анищик, В. М. доктор физико-математических наук Виктор Михайлович 070 z01710 |
|
|
Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии [Текст] В. М. Анищик [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | табл., рис. |
| Библиография | Библиогр.: с. 68 (2 назв. ) |
| Аннотация | Возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионно-легированных слоев в поликремнии. |
|
Радиоэлектроника AR-MARS Полупроводниковые приборы AR-MARS Импульсные устройства AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
термическая обработка поликремний ионно-легированные слои поверхностное сопротивление электрическая активация микроэлектроника |
|
Горушко, В. А. Валентина Алексеевна 070 z02710 Пилипенко, В. А. член-корреспондент Владимир Александрович 070 z03710 Понарядов, В. В. кандидат физико-математических наук Владимир Васильевич 070 z04710 Солодуха, В. А. кандидат технических наук Виталий Александрович 070 z05710 |
|
|
z01700 Белорусский государственный университет Вторичная ответственность z02700 Государственный центр "Белмикроанализ" Минск Вторичная ответственность z03700 Белорусский государственный университет Вторичная ответственность z04700 Белорусский государственный университет Вторичная ответственность z05700 ОАО "Интеграл" Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 2520-2243 |
| Название источника | Журнал Белорусского государственного университета. Физика |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | № 2. - С. 63-68 |
|
RU 22013075 20170915 RCR |
|
|
RU 22013075 20170915 |
|
|
RU AR-MARS 20170915 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20170915 |
|
| Тип документа | b |
|
code year no ss ad |
|
|
vbu1 2017 2 63 1 |
|
| 607 | |
| Физика и техника полупроводников |
