| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | noma17_to53_no1_ss41_ad1 |
| Дата корректировки | 9:58:14 1 июня 2017 г. |
| Кодируемые данные | 170418s2017||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
| Системный контрольный номер | RUMARS-noma17_to53_no1_ss41_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Научная библиотека Дагестанского государственного университета БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК |
546 542.9 539.2 |
| Индекс ББК |
24.12 24.22 22.37 |
|
Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек Таблицы для массовых библиотек |
|
|
Третьяков, Н. Н. 070 z01710 |
|
|
Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок [Текст] Н. Н. Третьяков [и др.] |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 5 рис., 3 табл. |
| Библиография | Библиогр.: с. 47-48 (12 назв. ) |
| Аннотация | В процессе оптимизации способов эффективного управления процессами формирования наноразмерных функциональных пленок на A{III}B{V} показано, что модифицирование поверхности InP магнетронно нанесенными наноразмерными (25 нм) слоями MnO[2] обусловливает транзитный механизм термооксидирования полупроводника. Положительный эффект состоит в увеличении темпа прироста толщины пленок по сравнению с собственным оксидированием, быстром химическом связывании индия с блокированием его диффузии в пленку и интенсификации процессов фосфатообразования. Изменение состава выращенных пленок по сравнению с собственными приводит к значительному улучшению качества их поверхности (высота рельефа не превышает 20 нм, средний размер зерна 55 нм). |
|
Химия AR-MARS Химические элементы и их соединения AR-MARS Органические реакции AR-MARS Физика AR-MARS Физика твердого тела. Кристаллография в целом AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
магнетронно напыленный слой термооксидирование морфология синтезированные пленки модифицирование поверхности пленки диффузия высота рельефа размер зерна |
|
Миттова, И. Я. 070 z02710 Сладкопевцев, Б. В. 070 z03710 Самсонов, А. А. 070 z04710 Андреенко, С. Ю. 070 z05710 |
|
|
Воронежский государственный университет z01700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z02700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z03700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z04700 Вторичная ответственность Воронежский государственный университет z05700 Вторичная ответственность |
|
| ISSN | 0002-337X |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 1. - С. 41-48 |
|
RU 36713090 20170418 RCR |
|
|
RU 36713090 20170418 |
|
|
RU AR-MARS 20170418 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20170418 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
noma 2017 53 1 41 1 |
|
| 13607 |
