| Индекс УДК |
546 542.9 539.2 |
|
Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок [Текст] Н. Н. Третьяков [и др.] |
|
| Аннотация | В процессе оптимизации способов эффективного управления процессами формирования наноразмерных функциональных пленок на A{III}B{V} показано, что модифицирование поверхности InP магнетронно нанесенными наноразмерными (25 нм) слоями MnO[2] обусловливает транзитный механизм термооксидирования полупроводника. Положительный эффект состоит в увеличении темпа прироста толщины пленок по сравнению с собственным оксидированием, быстром химическом связывании индия с блокированием его диффузии в пленку и интенсификации процессов фосфатообразования. Изменение состава выращенных пленок по сравнению с собственными приводит к значительному улучшению качества их поверхности (высота рельефа не превышает 20 нм, средний размер зерна 55 нм). |
| Название источника | Неорганические материалы |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 53, № 1. - С. 41-48 |
