Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок
Третьяков, Н. Н., Миттова, И. Я., Сладкопевцев, Б. В., Самсонов, А. А., Андреенко, С. Ю.
Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок, [[Текст]], Н. Н. Третьяков [и др.]
5 рис., 3 табл.
// Неорганические материалы .-
2017 .-
Т. 53, № 1. - С. 41-48 .-
