Поиск

Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок

Авторы: Третьяков, Н. Н. Миттова, И. Я. Сладкопевцев, Б. В. Самсонов, А. А. Андреенко, С. Ю.
Подробная информация
Индекс УДК 539.23:546.681
Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок
Текст
Неорганические материалы
2017
Т.53, № 1. - С.41-48