| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/542984512 |
| Дата корректировки | 13:02:32 16 марта 2017 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.23:546.681 |
| Третьяков, Н. Н. | |
|
Влияние магнетронно напыленного слоя MnO[2] на кинетику термооксидирования InP, состав и морфологию синтезированных пленок Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил |
| Библиография | Библиогр: 12 назв |
|
модифицирование поверхности пленки диффузия высота рельефа размер зерна магнетронно навыленный слой термооксидирование пленки синтезированные |
|
|
Миттова, И. Я. Сладкопевцев, Б. В. Самсонов, А. А. Андреенко, С. Ю. |
|
|
Неорганические материалы 2017 Т.53, № 1. - С.41-48 |
|
| Тип документа | b |
