| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/532097371 |
| Дата корректировки | 12:49:31 10 ноября 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 66.088 |
| Спешилова, А. Б. | |
|
Плазмохимическое травление фоторезистивных слоев на основе нафтохинондиазидов в установке с удаленной кислородной плазмоой Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
|
плазмохимическое травление фоторезистивные слои нафтохинондиазиды фоторезистивные слои |
|
| Другие авторы | Соловьев, Ю. В. |
| Александров, С. Е. | |
|
Журнал прикладной химии 2016 Т. 89, Вып.8. - С. 1071-1076 |
|
| Тип документа | b |
