| Индекс УДК | 66.088 |
|
Плазмохимическое травление фоторезистивных слоев на основе нафтохинондиазидов в установке с удаленной кислородной плазмоой Текст |
|
| Другие авторы | Соловьев, Ю. В. |
|
Журнал прикладной химии 2016 Т. 89, Вып.8. - С. 1071-1076 |
