Плазмохимическое травление фоторезистивных слоев на основе нафтохинондиазидов в установке с удаленной кислородной плазмоой
Спешилова, А. Б., Соловьев, Ю. В., Александров, С. Е.
Плазмохимическое травление фоторезистивных слоев на основе нафтохинондиазидов в установке с удаленной кислородной плазмоой, [Текст]
ил.
Журнал прикладной химии, 2016, Т. 89, Вып.8. - С. 1071-1076