| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/513858014 |
| Дата корректировки | 10:20:14 13 апреля 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.088(047.1)(476) |
| Минченко, В. А. | |
|
Принципы построения и параметры комплекса тестового зондового технологического контроля полупроводниковых структур интегральных микросхем и специальных RFID-микросхем на пластине Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 6 назв. |
|
тестовый технологический зондовый контроль полупроводниковые структуры интегральные микросхемы наноэлектроника |
|
| Другие авторы | Ковальчук, Г. Ф. |
|
Зайцев, В. А. Мартиновский, И. П. |
|
|
Метрология и приборостроение 2016 № 1. - С. 31-38 |
|
| Тип документа | b |
