| Индекс УДК | 621.382.088(047.1)(476) |
|
Принципы построения и параметры комплекса тестового зондового технологического контроля полупроводниковых структур интегральных микросхем и специальных RFID-микросхем на пластине Текст |
|
| Другие авторы | Ковальчук, Г. Ф. |
|
Метрология и приборостроение 2016 № 1. - С. 31-38 |
