| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/503581372 |
| Дата корректировки | 14:33:43 2 февраля 2017 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 533.9.08:539.216 |
| Климович, И. М. | |
|
Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
|
реактивное магнетронное распыление титан алюминий азот резерфордовское обратное рассеяние рентгеноструктурный анализ |
|
|
Кулешов, В. Н Зайков, В. А. Бурмаков, А. П. Комаров, Ф. Ф. Людчик, О. Р. |
|
|
Приборы и методы измерений 2015 Т. 6, № 2. - С. 139-147 |
|
| Тип документа | b |
